脱気モジュール『ユニタイフロン』シリーズ
中空糸膜には、従来主流であったフッ素樹脂PTFE（四フッ化エチレン樹脂）に比べ溶出物が無く、汚れが付着しにくいフッ素樹脂PFA（四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂）を使用し、他の接液部もPFAを使用した耐薬品性に優れた脱気モジュールとなっています。また、製品は錆や腐食に強いステンレス製の容器を使用していますので、半導体やFPD（フラットパネルディスプレイ）、医薬品や食品の分野においても安心して使用できます。
原理
UniTyflonシリーズは「膜」を介して液中にガスの出し入れをさせるモジュールです。図のように膜の外側に圧力をかけたり減圧をすることで液中に微小気泡を溶解させたり、逆に微小気泡や溶存しているガスを取り除いています。弊社のモジュールは非多孔性でフッ素樹脂のPFA中空糸膜を使用し、脱気を主目的にしたものです。
用途
●半導体やFPD（フラットパネルディスプレイ）製造工程で使用される洗浄液、エッチング液、フォトレジスト、現像液、レジストの剥離液の脱気
●各種製造工程で使用される薬液、洗浄液、コーティング液、処理液の脱気
●インクジェットプリンターで使用する溶媒系インクの脱気
●分析や理化学分野で使用される薬液、有機溶媒、酸・アルカリ溶液の脱気
シリーズ商品の紹介
カスタム製品
ご希望の用途に対応した脱気モジュールの設計から製品化までのすべてを社内で行い、最適な性能とコストを実現する脱気モジュールを提供します。特にPTFE中空糸膜の置き換えに最適なモジュールを提供します。ご検討ください。
問い合わせ先：営業二課 ユニタイフロングループ Tel:0276-84-3251 Fax.0276-84-2932
脱気 脱気膜 脱泡 半導体 薬液 ＰＴＦＥ ＰＦＡ 中空糸膜